LSM-9000LE全自動(dòng)應(yīng)力儀測量原理

測量方法采用固定圓偏光板，旋轉(zhuǎn)檢偏鏡的方法。 光線經(jīng)過直線偏光+1/4波長板變成圓偏振光，放置有應(yīng)力的樣品，雙折射的慢軸快軸間產(chǎn)生光程差，變成橢圓偏振光。然后旋轉(zhuǎn)檢偏鏡，橢圓偏振光內(nèi)，偏振光透射軸和平行光以直線偏振光方式通過。此時(shí)可以看到通過檢偏鏡的光強(qiáng)度依據(jù)光程差和慢軸方向隨著檢偏鏡角度變化有所變化。全自動(dòng)應(yīng)力儀測量一次預(yù)定的四個(gè)角度有相機(jī)拍照，從各個(gè)角度的光強(qiáng)度得出偏振光狀態(tài)（楕圓率和橢圓斜度）。

檢測不放置樣品和放置樣品時(shí)，從各個(gè)偏光狀態(tài)的不同，算出光程差的大小和慢軸方向。

塞納蒙法是通過檢測者旋轉(zhuǎn)檢偏鏡，測量部位由最亮變成最暗的狀態(tài)，定量檢測光程差的檢測方式。但是，一直是肉眼觀測型，根據(jù)測量環(huán)境和測量者的不同，明亮度的判別會(huì)有偏差。另外，半自動(dòng)測量的精度與肉眼觀測相比有所改善，但是測量部位限于圖像中特定的一部分。塞納蒙法沒法檢測慢軸方向，只能參考感光色法推斷。另外觀測二次元分布的時(shí)候，長時(shí)間多次測量的結(jié)果有必要繪制圖像。

本裝置是在直線偏光板和1/4波長板組成的圓偏光板上放置樣品的，可以直接開始測量。因此熟練者和初學(xué)者沒區(qū)別，都可以簡單進(jìn)行光程差和慢軸方向的定量測量。另外，不僅可以測特定部位，使用內(nèi)置CCD相機(jī)，每個(gè)像素單位都可以測量。因此光程差和慢軸方向可以在顯示器上顯示2次元圖像，分布狀態(tài)也可以一目了然。

LSM-9000LE全自動(dòng)應(yīng)力儀用途

定量測量玻璃產(chǎn)品的殘余應(yīng)力檢測塑料產(chǎn)品的應(yīng)力 測量光學(xué)薄膜的光程差 檢測結(jié)晶材料有無應(yīng)力

關(guān)于樣品

因?yàn)槭褂?90nm的光源，不透光的樣品，透光率低的產(chǎn)品或者因漫反射導(dǎo)致透明度低的樣品都不能檢測

主要技術(shù)參數(shù)

圓偏光板尺寸：W200ⅹD200 測量空間高度：0-130mm 檢測方法：旋轉(zhuǎn)檢偏鏡法 設(shè)定波長：590nm 反復(fù)測量精度：（標(biāo)準(zhǔn)偏差）1nm 測量范圍：175ⅹ175mm 有效像素：1100ⅹ1100 光源：高亮度LED 電源：AC100～240V  50/60Hz 運(yùn)行系統(tǒng)：WIN7或以上